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2024微机电系统 44517 MEMS 技术晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法 MEMS膜残余应力

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2024 微机电系统 MEMS 薄膜材料 44842 技术弯曲试验方法

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2020微机电系统 38446 MEMS 技术试验方法带状薄膜抗拉性能

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2017微机电系统 34899 MEMS 技术微结构表面应力测试方法基于拉曼光谱法

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2017微机电系统 34900 MEMS 技术 MEMS微结构残余应变测量方法基于光学干涉

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技术 42896 MEMS 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 2023微机电系统

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技术 42897 MEMS 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 2023微机电系统

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技术基于光学干涉 34894 MEMS MEMS微结构应变梯度测量方法 2017微机电系统

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技术 44514 MEMS 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法 2024微机电系统

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技术基于光学干涉 34893 MEMS MEMS微结构面内长度测量方法 2017微机电系统

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技术 42895 MEMS 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 2023微机电系统

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技术 26113 MEMS 微几何量评定总则 2010微机电系统

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技术 26112 MEMS 微机械量评定总则 2010微机电系统

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